激光冷剥离碳化硅晶棒生产厂家
在当今科技日新月异的时代,一种名为激光冷剥离的技术正引领着碳化硅晶棒生产行业的发展潮流。恒迈瑞公司作为一家专注于碳化硅晶锭生产的制造商,为客户提供4至8英寸测试D级碳化硅晶棒,我们始终坚持以创新为核心,以质量为生命,致力于为广大客户提供优质的晶棒产品。
碳化硅晶体是一种具有优异性能的新型半导体材料,在高温、高压、高频等极端环境下表现出的稳定性和可靠性。因此,碳化硅晶棒的需求日益增长,其应用领域也愈发广泛,涵盖了航空航天、新能源汽车、光伏产业等诸多国家重点发展项目。
碳化硅是一种宽禁带半导体材料,具有高的热导率、高的临界电场强度、高的饱和电子迁移率等特性,这些特性使得碳化硅成为制作高温、高频、高功率电子器件的理想材料。碳化硅功率器件主要包括碳化硅二极管和碳化硅晶体管。
碳化硅二极管主要利用碳化硅材料的高临界电场强度和高热导率特性,使得器件在高压、高温条件下仍能保持优良的性能。碳化硅晶体管则通过控制电流在碳化硅材料中的流动,实现电能的转换和控制。
碳化硅按衬底制备方式以及面向的下游应用分可为两种类型。一种是通过生长碳化 硅同质外延,下游用于新能源汽车、光伏、工控、轨交等功率领域的导电型衬底, 外延层上制造各类功率器件;另一种是通过生长氮化镓异质外延, 下游应用于5G通 讯、国防等射频领域的半绝缘型衬底,主要用于制造氮化镓射频器件。碳化硅衬底制备环节主要包括原料合成、碳化硅晶体生长、晶锭加工、晶棒切割、 切割片研磨、研磨片抛光、抛光片清洗等环节, 其中制备重难点主要是晶体生长和切割研磨抛光环节,是整个衬底生产环节中的重点与难点,成为限制碳化硅良率与 产能提升的瓶颈。