溅射靶材是一种通过溅射法生成薄膜的材料,由金属及陶瓷加工制造而成。我们通过将熔化技术,烧结技术,合成技术以及加工技术进行技术融合,可以对各种素材,纯度以及形状的产品进行处理。
高密度 SrRuO3
SrRuOx(SRO)是以BST或PZT为电容器的FeRAM中下部电极所使用的材料。众所周知,与铂电极相比, 将SRO用于底部电极可提高电容器的介电及铁电性能。
与PT外壳相比,SRO的使用也有望减少由于在电容器制造过程中,加热时与电介质发生反应而导致的退化。
我们运用独自的技术,抑制了颗粒的生成,开发了可稳定进行成膜的高密度SRO(SRO-HD)。
无铅高介电・压电材料
我们可以广泛处理以(BaSr)TiO3为代表的高介电材料以及NaNbO3,KNbO3,(KNa)NbO3,BNT-BT等压电材料。
(BaSr)TiOx (BaSr)TiO3拥有较高的介电常数,在半导体存储器电容介电材料中的应用引起了人们的关注。我们运用独自的技术开发了一种电阻率低于通常情况的靶材。