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TXRF表面污染监测全反射X射线荧光分析仪
不限
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产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌
Kowa
型号
K-TRX
类型
多元素分析仪器
测量范围
12寸
测量精度
角度解析度:0.0001
电源电压
230V
用途
分析出晶圆表面各元素的沾污量
加工定制
加工定制
角度解析度
0.0001°
高度解析度
0.6um
W靶侦测极限(LLD)
Ni≤4 E9 atoms/cm2
动态重复性
CV
X射线辐射剂量
小于0.5 micron Sv / h
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