产品用途: 该设备主要适用于半导体材料如硅片、陶瓷、玻璃、Ⅲ-Ⅴ族化合物等其它硬脆材料的高速高精度多片切割加工;主要适用于3"~6"硅片的高速高精度多片切割加工。
主要特点: 1. 该设备具有精密温度控制系统,切片精度高,翘曲度小,切片质量稳定,切割成本小的特点。 2. 特殊的工作台设计,切割效率高,可满足不同切割加工工艺的要求。 3. 该设备采用微型计算机控制系统,具有同步自动控制运动功能,又具有手动控制功能。 4. 在自动切割模式下按启动键可完成自动绕线和对工件的自动切割;在准备模式下通过人机界面触摸屏菜单可单独完成对工件的切割;在以上模式下运行,设备运行过程中可对设备下一工作过程的有关参数进行调整。 5. 张力控制采用闭环反馈控制方式,保证了切割过程中切割线张力的恒定。 6. 使用偏差传感器控制切割线的偏差,确保在切割时切割线的偏差恒定。 7. 切割结束后自动清洗工件。 主要技术参数: 1. 工件最大尺寸(宽×高×长):150mm×150mm×400mm(两根) 2. 线辊卷线宽度:φ200±10×410×3轴 3. 线辊轴间距离:700mm 4. 线辊旋转速度:最大1300rpm 5. 切割线供线次数:1 6. 切割线直径:φ0.08mm~φ0.18mm 7. 切割线供线轮绕线能力:30kg×1 (1卷线全长190000mφ0.16mm) (1卷线全长487000mφ0.10mm) 8. 切割线恒定张力:35.0N~40.0N(最小设置单位:0.1N) 9. 切割线往复走行速度:平均400m/min(最大500mm) 10.切割线往复循环次数:最大15次/min 11.工作台升降行程:最大220mm 12.工作台切削速度:0.1到999.9 13.工作台快速移动速度:300mm/min 14.工作台水平旋转角度:0到±5°(微调工作台) 15.工作台切入量的控制:通过切割线偏差传感器 16.砂桶容量:150L 17.供砂量:最大180L/min(兼用搅拌) 18.泵流量:最大80L/min 19.设备外形尺寸(长×宽×高): 3804 mm×2718mm×3410mm 20.质量:约10000kg