外形尺寸：

2~12“

可定制

型号

N型/ P型、本征（不掺杂）

客户要求

直径:

50~300mm

厚度:

250 ~600
μm

可定制

厚度误差

±10μm

氧化层厚度

50nm~1000nm

客户要求

平整度（TIR）

< 3
μm

翘曲度（BOW）

≤15μm

TTV:

≤15μm

粗糙度

<0.5nm

电阻率:

0.001-25
(Ω·cm)

客户要求

晶向

〈100〉；〈110〉；〈111〉

级别

IC级

类型

研磨片，单抛片，双抛片

可定制