AG Associates Heatpulse 4100 Rapid Thermal Process 如果您有兴趣，请 邮件 告诉我们相关信息，我们将24小时内响应您的要求。
原制造商：AG Associates
设备类型：快速退火炉
AG Associates Heatpulse 4100系列快速退火系统具有成本低，适用面广等优点。是专门为半导体器件生产厂家快速退火工艺设计制造的退火系统，被广泛应用验证。该系统采用自动传片系统(Video)，适用于标准硅片、复合半导体材料和其他材料的晶片，晶片尺寸可从3英寸到6英寸。操作简便，自动化程度高，已广泛应用在半导体制造产业。
Heatpulse 4100优越的工艺控制：
单片，闭环温度控制；
快速升温与降温控制；
工艺重复性高；
4组加热灯可分别控制，提高温场均匀性。
离子注入后快速退火；
欧姆接触快速合金；
硅化物合金退火；
氧化物生长；
其它快速热处理工艺。
一般管式高温炉只能设定一个工艺条件，即一个温度；
工艺周期长，使用不太灵活；
须24小时加电恒温，能耗较高；
快速退火炉可以设定多个工艺条件，即多种温度；
快速退火炉工艺时间短，使用非常灵活；
快速退火炉能耗很低；
快速退火炉同一台设备既可用作生产，也可用作科研，且任何科研工艺条件不会对生产工艺造成影响。
更广泛被行业使用，市场保有量第一
更容易取得备件
成本低
更容易取得服务
广州谭美电子科技有限公司（www.tanmytech.com）代理多家美、欧一流的半导体设备公司的产品，公司主要经营高真空磁控溅射设备、量测设备、涂胶显影设备、PECVD设备、RIE/ICP/DRIE深刻蚀设备、电子扫描显微镜、快速退火、等离子去胶、等离子刻蚀、电子束蒸发、湿法工艺设备。
我们拥有广泛的采购网络、强大的专业设备服务队伍、先进的质量检验检测手段和国际领先的软件开发和升级技术，可为客户提供各类进口半导体设备及备品备件、并提供长期优质的售后服务及技术支持保障。通过技艺精湛的设备生产、翻新，保证我们的设备具有出色的运作表现，能够满足客户的多种需求，降低客户的生产成本。
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经营产品：
- Hitachi FE-SEM 5000电子扫描显微
- Lam Rainbow 4420 4520 4620 4720
- AG Heatpulse自动传片视频
- Hitachi FE-SEM 4500电子扫描显微
- KLA-Tencor 量测设备
- Plasmalab 80 Plus RIE刻蚀
- MRC 903M 高真空磁控溅射设备
- 603-III 高真空磁控溅射设备
- MXP Multiplex ICP HR
- Plasma-Therm Unaxis 790 PECVD DR
- Semitool Spray Solvent Tool (SST
- 湿法去胶机 Semitool WST606MG
- Hitachi FE-SEM 4700电子扫描显微
- Hitachi FE-SEM 4800电子扫
- Heatpulse 8108快速退火炉
- Hitachi CD-SEM S-8820量测设备
- Heatpulse 4100快速退火炉
- Gasonics Aura 3010 等离子去胶
零件销售：
- CHI Shaped Target CHI INSET® Cathode A
- MU INSET® Cathode Assembly
- 8＂ Diameter DC Magnetron
- Perkin-Elmer Delta RF/DC Magnetron
- 各类机械手控制器平边器
- 碳化硅 (SiC)-Susceptor
- Heatpulse 8800 Quartz Parts
- Heatpulse 8108 Quartz Parts (石英
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