我们为下列KLA-Tencor量测设备提供专业的翻新,维护,维修,校准。
– Bright Field Overlay: 2132, 2133, 2135, 2138, 2139
– Dark Field: AIT, AIT II, AIT III, AIT-UV, AIT-XP, AIT-XP+
– Surface Scan: 6220, 6400, 6420, SP1, SP1-TBI
– Resistivity: RS-55, RS-75, RS-100
– Thin Film: 1250, 1280UV, F5, F5X
– Overlay: 5200, 5200XP, 5300
– Surface Profile: Pxx & HRP-220, HRP-240
– Stress: Flexus 2320, 5400
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