我们专业提供以下半导体FE-SEM量测设备:
型号: Hitachi FE-SEM 4800
原设备制造商:Hitachi
类别:电子扫描显微镜 量测设备
状态:专业翻新 (U.S.A.)
交货期: 8周
技术指标:等于原厂技术指标
Wafer 尺寸:小样品
安装服务: 包括
保修期: 验收后30. 保修合同可选
产品说明:
Hitachi SEM, S-4800 FESEM
Refurbished and guaranteed to meet OEM specification.
Resolution:
1.0 nm (at accelerating voltage 15kV)
2.0 nm (at accelerating voltage 1kV)
Magnification: x30 - x800,000
Max sample size : 150mm
Electron Gun:
Cold-cathode Field Emissions Electron source
Accelerating Voltage 0.5 to 30 kV (variable in 0.1kV steps)
Large 5-Axis Motorized 110mmx110mm Stage
Sample change: air lock (upto 6" Specimen)
Detectors:
Upper secondary electron detector
Lower secondary electron detector
User friendly GUI using Windows XP
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广州谭美电子科技有限公司(www.tanmytech.com)代理多家美、欧一流的半导体设备公司的产品,公司主要经营高真空磁控溅射设备、量测设备、涂胶显影设备、PECVD设备、RIE/ICP/DRIE深刻蚀设备、电子扫描显微镜、快速退火、等离子去胶、等离子刻蚀、电子束蒸发、湿法工艺设备。 经营产品: 零件销售: 详情请登录:www.tanmytech.com
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