Plasma-Therm Unaxis 790 PECVD DRIE(sales@tanmytech.com)
制造商(Manufacturer
):Plasma-Therm
Model :Unaxis 790
WaferSizeRange
:
Minimum50 mm
Maximum200 mm
Process :DRIE PECVD
Controller Type :PC Controller Type
End Point Detection: None
Loadlock :YES
RF Generator Model: AE RF 5S
Number of Gas Inputs: Eight Gas
CE Marked :YES
Year of Manufacture: 2001
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经营产品:
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零件销售:
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