产品名称

硅单抛片

合同号/生产计划

BC-2014-147

产品编号/批号

S3B0420-396

检验报告编号

ZB1403-133

产品数量

25片

项目

参数

项目

参数

制备方法

CZ

型号及掺杂挤

N

直径（mm）

100±0.3

电阻率（Ω.cm）

1~10

晶向及晶向偏离度

±0.5°

径向电阻率变化（%）

无

定位面

主

(100)±1，主参长32±2.5mm

少子寿命（μS）

/

次

与主参数180°长度：18±2mm

位错密度（CM﹣2）

无

晶片厚度(μm)

500±15

氧含量（㎝﹣3）

≤1.8X1018

总厚度变化（μm）

≤10

碳含量（CM﹣3）

≤5X1016

弯曲度（μm）

≤20

漩涡

/

翘曲度（μm）

≤25

热氧化层错（个/CM﹣2）

/

平整度（μm）

≤6

粗糙度（nm）

＜5

表面质量

合格

备注

检验员

检验日期

审核

审核日期