4英寸氮化硅片 单抛 光电子科研实验专用

在微电子和光电子材料及器件的研究和生产领域，氮化硅已然成为一种重要的薄膜材料。随着超大规模集成电路的发展，集成度、复杂性和封装要求的不断提高，氮化硅作为钝化膜、绝缘层、扩散掩膜应用越来越广泛。研究发现，硅中的氮能够提高硅单晶的强度，防止硅片翘曲，并能抑制微缺陷形成。