应用材料公司推出全新刻蚀系统 实现原子级生产精度

全新的Centris? Sym3?刻蚀系统采用创新腔室架构，可使材料清除达到原子级精度

该系统已成功安装于多家客户的主要生产线中，成为公司历史中应用率上升最快的蚀刻设备

加利福尼亚州圣克拉拉，2015年7月13日 — 应用材料公司今天宣布推出下一代刻蚀设备Applied Centris? Sym3? 刻蚀系统。该系统设有全新的反应腔，可实现原子级精度工艺。为了克服芯片内部特征差异，Centris Sym3系统超越了现有的蚀刻技术，大幅改善了蚀刻的可控性和精准度，提供给芯片制造商制造先进内存和逻辑芯片的密集型三维结构。

应用材料公司蚀刻业务部门副总裁兼总经理Raman Achutharaman博士表示：“凭借我们在蚀刻技术领域20多年的研究成果，以及在精密材料清除工艺方面的专业经验，采用完全全新设计的Sym3系统能够解决行业内现有以及未来即将面临的诸多挑战。由于客户需求十分强劲，该新系统成为应用材料公司历史中应用率上升最快的蚀刻设备，目前在许多领先的晶圆厂都已完成产量爬坡。”

Centris Sym3蚀刻系统的反应腔采用了应用材料公司独创的True Symmetry? 技术，具有多个调准控制头，能将全球工艺一致性地优化至原子级水平。该系统的设计关键是对影响芯片内图形一致性的蚀刻副产品进行了有效控制和清除，减少其再沉积，从而解决了刻线边缘粗糙、负载效应以及缺陷等阻碍新技术节点发展的一系列挑战。此外，先进的射频技术能有效控制离子能量和角度分布，从而使高深宽比三维结构实现无与伦比的垂直分布。

Centris Sym3平台配备6个刻蚀反应腔和2个等离子清洗腔，并配有系统智能监控软件，确保每个刻蚀反应腔的所有工艺都能保持精准匹配，从而实现可重复、高效率的大批量生产。

化学方法金属蚀刻的发展历史（一）

     近几十年来,化学腐蚀是一种精准而科学的饮食法化学处理技术,在各种金属材料使用在许多文本和形状处理各种腐蚀。特别是在航空航天和航空工业,几乎到处都可以看到化学腐蚀加工技术。然而,作为一种化学加工技术,其历史可以追溯到很长时间。

    最早的应用程序和处理方法还没有被发现在中国数据,这可能是因为中国古代科学技术探索和记录不注意原因。显然和该方法的应用在西方有着悠久的历史。开始使用这种技术记录,西方人认为今年一世纪,有人谈论使用氢氧化钠和A12(S04)3,这里显然夸大了。金属腐蚀的应用和发展必须有两个条件是有意义的,一个是金属的推广应用,两种不同的腐蚀代理被发现。

   有一个金属的发现和应用的历史,在这方面中国的发展比其他任何国家都多,悠久的历史,这些都是属于古代炼金术士的信贷,常用的最早的人们的金属是铜和合金材料,然后是铁的发现。但铝发现是上个世纪的事情,所以,西方人认为公元一世纪人们谈论氢氧化钠和阿尔,(所以),使用假名字。

     金属腐蚀主要由三个方面的发展和开发的金属:发现和冶炼技术;各种腐蚀代理发现;防腐材料。

     在现在的生活中,腐蚀现象随处可见,但在古代,这种现象不会发生,因为当时世界是由木头、石头和土壤。直到古人把一些石头或金属从土壤分离后,我们的世界更多的是一种复合的材料——金属。金属的发现和应用,也有腐蚀的对象,但使用普通的水是很难得到一个金属加工表面在短的时间内,它必须有一个可以——酸腐蚀金属。酸是有机酸如最早发现,从酸奶乳酸等提出,由柠檬柠檬酸和醋酸,这些酸强度最强的醋酸。仅由有机酸很难完成加工的金属腐蚀,只有当无机酸是发现,化学腐蚀,金属的加工技术是可能的。明显的化学腐蚀金属的加工技术落后于无机酸,这可能与抗腐蚀材料相关的有效的发展。

    在欧洲,化学腐蚀过程到15世纪成为流行,主要用于腐蚀的处理和凯的艺术。腐蚀代理欧洲最早使用的公式记录准备用盐和醋,活性炭。抗腐蚀材料是最早记录的亚麻籽油油漆保护层,稍后记录也用于石蜡作为缓蚀剂。

金属蚀刻前后的妥善处理

金属蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。金属蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类。金属蚀刻加工作为一种精密而科学的化学加工技术，在不同金属材料上被大量用于腐蚀各种不同的图文及外形加工。特别是航天、航空工业及高科技电子产品，几乎随处都应用到化学蚀刻加工技术。然而作为一种化学切削加工技术，其历史可以追逆到很久远的年代。

　　金属蚀刻前后的妥善处理：

　　1.蚀刻前处理：在金属蚀刻之前的工序都是前处理，它是保证丝印油墨与金属面具有良好附着力的关键工序，因此必须要彻底清除金属蚀刻表面的油污及氧化膜。除油应根据工件的油污情况定出方案，需要在丝印前进行电解除油，保证除油的效果。除氧化膜也要根据金属的种类及膜厚的情况选用好的浸蚀液，保证表面清洗干净。在丝网印刷前要干燥，如果有水分，也会影响油墨的附着力，而且影响后续图纹蚀刻的效果甚至走样，影响装饰效果。

　　2.丝网印刷：丝网印刷要根据印刷的需要制作标准图纹丝印网版。图纹装饰工序中，丝印主要起保护作用，涂感光胶时次数要多些，以便制得较厚的丝网模版，这样才使得遮盖性能好，蚀刻出的图纹清晰度高。丝网版的胶膜在光的作用下，产生光化学反应，使得光照部分交联成不溶于水的胶膜，而未被光照部分被水溶解而露出丝网空格，从而在涂有胶膜丝网版上光刻出符合黑白正阳片图案的漏网图纹。把带有图纹的丝印网版固定在丝网印刷机上，采用碱溶性耐酸油墨，在金属板上印制出所需要的图纹，经干燥后即可进行蚀刻。

　　3.金属蚀刻后处理：金属蚀刻后必须除去丝印油墨。一般的耐酸油墨易溶于碱中。将蚀刻板浸入40～60g/L的氢氧化钠溶液中，温度50～80℃，浸渍数分钟即可退去油墨。退除后，如果要求光亮度高，可进行抛光，然后进行染色，染色后为了防止变色及增加耐磨、耐蚀性，可以喷涂透明光漆。对于一些金属本身是耐蚀性能好而且不染色的，也可以不涂透明漆，要根据实际需要而定。